「atomize」はギリシャ語の語『atomos』に由来し、接頭辞『a-』は「～でない」、『tomos』は「切る」を意味します。動詞化の接尾辞『-ize』はギリシャ語の『-izein』がラテン語・フランス語を経て入ったものです。

『atomos』は後期ラテン語やフランス語の語形（例：atomiser）を経て、近代に英語の動詞『atomize』になりました。

当初は「（分割できない）最小単位」やそれに関連する意味でしたが、発展して「非常に小さな部分に分ける」「霧や蒸気にする」という現在の意味になり、比喩的に「徹底的に破壊する」という用法も生じました。