「vaporize」はラテン語の「vapor」から来ており、「蒸気」や「霧」を意味し、動作を示す接尾辞「-ize」と組み合わさっている。

「vapor」はフランス語の「vaporiser」に変わり、中英語を経て現代英語の「vaporize」になった。

最初は「蒸気や霧に変える」という意味だったが、時間とともに「完全に破壊する」という意味も含むようになった。