「autooxidation」はギリシャ語と新ラテン語／現代英語に由来し、具体的にはギリシャ語の「autos」から来た接頭辞「auto-」と、新ラテン語（仏・ラテン語を経た）「oxidatio」からの「oxidation」に分かれ、それぞれ「autos」は「自己」、「oxys」（'oxide'の語根）は「鋭い・酸」の意味を持つ（のちに「酸素」に関連）。

『autooxidation』はもともと学術文献で『auto-oxidation』のようにハイフン付きで書かれ、後に現代英語で結合形の『autooxidation』になった。『oxidation』は『oxide（酸化物）』に由来し、最終的にギリシャ語の『oxys』にさかのぼる。

当初は『自己』＋『酸化物の生成／酸素による酸化』という直訳的意味だったが、現代用法では特に酵素を介さない、しばしばラジカル連鎖を伴う酸化過程（例：脂質の過酸化）を指す専門用語へと意味が変化した。