「oxygen-impervious」は現代英語で名詞 'oxygen' と形容詞 'impervious' を組み合わせてできた複合語です。'oxygen' は18世紀にフランス語 'oxygène' として造語され、ギリシャ語の 'oxys'（鋭い・酸）と '-genes'（生む者）に由来します。'impervious' はラテン語 'impervius'（in- + pervius）に由来し、'pervius' は 'per' + 'via'（通り道）から来ています。

'oxygen' は近代の科学用語として（フランス語 'oxygène' から）18世紀に造られ英語に入った語です。'impervious' はラテン語や中世ラテン語・古フランス語を経て中英語に入った語で、'oxygen-impervious' のような複合語はより新しい技術的な英語で作られました。

当初、'oxygen' は「酸を作るもの」という意味合いで使われましたが、やがて化学元素としての現在の意味に定着しました。'impervious' は元来『通り抜けられない』という意味で、現代でもその意味は大きく変わっていません。