『inhomogeneity』は接頭辞『in-』（「〜でない」）と『homogeneity』を組み合わせた語に由来し、最終的にはギリシャ語『homogenēs』に由来する。ここで『homos』は「同じ」、『genos』は「種類」を意味した。

『inhomogeneity』はギリシャ語『homogenēs』に基づく後期ラテン語・フランス語の語形（例: 'homogeneus','homogénéité'）を経て、否定接頭辞『in-』を加えることで現代英語の『inhomogeneity』となった。

当初は「同じ種類ではない」や「均一でない」という意味を示しており、時間を経てもその基本的な意味は保持され、現在では科学分野で「不均一性」を表す専門用語として使われることが多い。