「inhomogeneity」はラテン語とギリシャ語に由来します。具体的には否定を表すラテン語接頭辞「in-」と、ギリシャ語の「homogenēs」（ラテン語・近代ラテン語の「homogenitas」を経由）から来ており、「hom(o)-」は「同じ」、「gen(os/ēs)」は「種類」を意味しました。

「inhomogeneity」は近代英語で、既存の語「homogeneity」にラテン語の「in-」を付けて作られました。「homogeneity」はギリシャ語「homogenēs」からラテン語を経て英語に入った語です。

当初は単に「同質でない」ことを指していましたが、時間とともに使用が広がり、材料科学、物理学、統計学、宇宙論などの専門分野で内部の変化や不規則性を示す技術的な用法が確立しました。