「devolatilization」は接頭辞「de-」と「volatile」、名詞化接尾辞「-ization」から現代英語で作られた。接頭辞「de-」はラテン語で「除去・逆」を意味し、「volatile」はラテン語の「volatilis」（「飛ぶ」を意味する 'volare' に由来）に由来する。

「volatile」はラテン語 'volatilis' → 古仏語やラテン語の影響を経て英語の 'volatile' になった。動詞化接尾辞 '-ize'（ギリシャ語/ラテン語由来）と名詞接尾辞 '-ation' が英語で付与され、'devolatilize'、さらに 'devolatilization' が生まれた。

当初は「飛ぶ」や「飛べる」を意味したが、次第に「蒸発しやすい」「揮発しやすい」という意味に変化し、『devolatilization』は物質からそのような揮発性成分を取り除くことを指すようになった。