'archfiend'は英語に由来し、接頭辞の'arch-'と'fiend'の結合でできている。'arch-'はギリシャ語の'arkhi-'（『主たる』の意）に由来し、'fiend'は古英語'fēond'（『敵』の意）にさかのぼる。

'arch-'はギリシャ語'arkhi-'がラテン語・古フランス語を経て英語に入り、'fiend'は古英語'fēond'（中英語で'feond'/'fiend'）が変化して、これらが結びついて中英語〜近代英語の語形を経て現代英語の'archfiend'になった。

当初は『主要な悪霊・悪魔』を指したが、時代とともに比喩的に『主たる人間の敵・大悪人』という意味でも使われるようになった。