「表面改質」は「表面」と「改質」の組み合わせに由来し、「表面」は最外層を指し、「改質」は「変更または変更された」を意味します。

「表面改質」は、表面特性を変更するために処理された材料を説明する必要から進化しました。

当初は「変更された表面を持つ」という意味であり、この意味は現代の使用法でも一貫しています。