「subterrestrial」はラテン語の要素「subter」と「terra」に由来し、「subter」は「下に」を、「terra」は「地」を意味した。

「subterrestrial」はラテン語の「subter」とラテン語由来の形容詞「terrestrial」（「terra」+ 接尾辞「-alis」）を結びつけた学術的な造語として英語に入った。

当初は「地の下にある」という基本的な意味だったが、時代を経て記述的・科学的文脈で「地表の下にある（地下の）」という意味で使われるようになった。