「自己反省」は「自己」と「検査」の組み合わせに由来し、「自己」は自分自身を指し、「検査」は調査または精査を意味します。

「自己反省」は心理学的文脈で使用される「自己検査」から進化しました。

最初は「自分自身を調べる」という意味でしたが、時間とともに「内省に従事する」という現在の意味に進化しました。