「oxygen-scavenging」は現代英語で『oxygen』と『scavenging』を合成した語である。『oxygen』はフランス語の「oxygène」から（18世紀後半に造語）、ギリシャ語の要素『oxys』（鋭い・酸）と『-genēs』（生じるもの・生成するもの）に由来し、『scavenge』は動詞『scavenge』（中英語の 'scavenger' に由来）から来ており、『scavenger』は元来「不要物を取り除く者」を意味した。

「oxygen-scavenging」は技術・産業分野で『oxygen』と現在分詞『scavenging』を結合して生まれ、当初は『oxygen scavenging』（二語）として使われ、次第に形容詞として用いる際にハイフンで結ばれて『oxygen-scavenging』と表記されることが多くなった。

当初は「酸素を取り除く行為」を指したが、現在では酸素を除去する材料・技術そのものや、そのプロセスの意味でも広く使われている。