「酸素応答性」は「酸素」と「応答性」からなる複合語です。「酸素」はフランス語の「oxygène」に由来し、ギリシャ語の「oxys」（鋭い）と「genes」（生成する）から派生しました。「応答性」はラテン語の「respondere」（答える）に由来します。

「酸素」は18世紀後半に造られた言葉で、「応答性」は15世紀から使われています。「酸素応答性」という組み合わせは現代の科学用語です。

当初、「酸素」は空気の成分を指し、「応答性」は「答える」を意味しました。現在では、酸素に反応する材料やシステムの特性を表します。