「酸素不活性」は「酸素」と「不活性」の組み合わせに由来し、「酸素」は化学元素を指し、「不活性」は「動く能力や力がない」を意味します。

「酸素不活性」は18世紀後半の「酸素」と17世紀初頭の「不活性」を組み合わせた現代の複合形容詞です。

当初、「不活性」は「非活動的」を意味し、「酸素」との組み合わせで、酸素と反応しない物質を表すように進化しました。