「cavitary」はラテン語の語幹 'cav-'（'cavus'）に由来し、'cav-' は「空洞、へこみ」を意味します。名詞 'cavity' に形容詞接尾辞 '-ary'（〜に関する）を付けて形成されました。

「cavitary」は後期ラテン語の 'cavitas'、古フランス語の 'cavite' を経て中英語の 'cavity' となり、そこに '-ary' を付けて現代英語の形容詞になりました。

当初は『空洞である』『へこんでいる』という意味でしたが、次第に『空洞に関する・空洞性の』という現在の意味（特に医学・技術分野での使用）に変化しました。