「autoanalysis」はギリシャ語由来で、要素の「autos」（自己）と「analusis」（分解、解析）に由来します。'autos'は「自己」を意味し、'analusis'（'ana-' + 'lyein'）は「分ける／解く」を表しました。

「analysis」はギリシャ語からラテン語や古フランス語を経て英語に入った語であり、「autoanalysis」は「auto-」と「analysis」を結合した現代英語の語形成で、19〜20世紀に技術的・心理学的な用法で現れました。

もともと「analysis」は文字どおり「分解すること」を意味しましたが、次第に「詳細な検討・解析」の意味に変化しました。それに伴い「autoanalysis」は現代では「自己の検討（自己分析）」や「自動的な解析」を意味するようになりました。