『atmometer』はギリシャ語要素に由来し、特にギリシャ語の『atmos』は『蒸気・蒸発』を意味し、『metron』は『測るもの』を意味する語を組み合わせた現代の学術的造語である。

『atmometer』は19世紀以降の科学英語で、接頭辞『atmo-』（ギリシャ語『atmos』由来）と接尾辞『-meter』（ギリシャ語『metron』由来）を結合して作られ、『蒸気を測るもの』という複合語として現代語に入った。大きな中間形態はない。

当初は大気の蒸気や蒸発を測る器具を指す語として造られ、その意味は基本的に変わらず、現在でも蒸発量や蒸発散の推定に用いられる装置を指す。