「anhydridization」は英語の「anhydride（無水物）」＋接尾辞「-ization」から成り、「anhydride」はフランス語を経てギリシャ語「anhydros（an-＝無、hydor＝水）」に由来する。

ギリシャ語「anhydros」からフランス語「anhydride」を経て英語に入り、その後、近代の科学英語で動詞「anhydridize」と名詞「anhydridization」が派生形成された。

当初から「水を除いて無水物を生成すること」の意味で用いられ、現在もほぼ同じ技術的意味で使われている。