「エアロゾル化」は「エアロゾル」から派生し、ギリシャ語の「aēr」（空気）とラテン語の「solutio」（溶液）に由来します。

「エアロゾル」は20世紀初頭に空気中の微細粒子の懸濁液を表すために初めて使用され、「エアロゾル化」はそのような懸濁液を作成するプロセスを表すように進化しました。

最初は空気中の懸濁液の作成を指していましたが、現在では医療や環境の文脈で物質の空気中への分散を表すために広く使用されています。