「subatomic」は「sub-」という接頭辞から来ており、「下」または「未満」を意味し、「atomic」はギリシャ語の「atomos」から来ており、「分割できない」を意味します。

「subatomic」は20世紀初頭に、原子より小さい粒子の科学的理解が進む中で形成されました。

最初は原子より小さいものを指し、この意味は一貫して残っています。