「spirometer」はネオラテン語・国際科学語彙に由来し、接頭辞の「spiro-」はラテン語の「spirare」（息をする）に、接尾辞の「-meter」はギリシャ語の「metron」（測る）に由来します。

「spirometer」は19世紀に医学・科学用語として「spiro-」と「-meter」を組み合わせて作られ、現代英語の「spirometer」になりました。

当初は「呼吸（息）を測定する器具」を意味し、現在でも肺容量・肺活量を測る器具を指す意味でほぼ同様に使われています。