「モノレイヤー」はギリシャ語の「モノ」（単一）と英語の「レイヤー」（層）から来ています。

「モノレイヤー」という用語は、原子や分子の単層を表すために科学的な文脈で採用されました。

最初は任意の単層を指していましたが、科学的な文脈では原子や分子の層を指すようになりました。