「insubstantial」はラテン語の「insubstantialis」に由来し、「in-」は「ない」を意味し、「substantialis」は「実体のある」を意味しました。

「insubstantialis」はフランス語の「insubstantiel」に変わり、中英語を経て現代英語の「insubstantial」になりました。

最初は「実体がないこと」を意味し、この意味は現代でもほぼ同じです。