「exorcist」は後期ラテン語の『exorcista』に由来し、そこは祈りによって追い払うことを意味する動詞『exorcizare』からできています。

『exorcist』は中世ラテン語／後期ラテン語の『exorcista』（および古フランス語の『exorciste』）から変化し、中英語を経て現代英語の『exorcist』になりました。

当初は（ギリシャ語由来で）『誓いで縛る・定める』ような儀式に関わる意味合いがありましたが、時代とともに『悪霊を追い払う人』という現在の意味に変化しました。