「autodiffusion」は、ギリシャ語の『autos』（「自己」）からの接頭辞「auto-」と、ラテン語/フランス語の『diffusio』/『diffusion』（最終的にラテン語『diffundere』の『dif-』（別々に）＋『fundere』（注ぐ）から）の合成によって成り立っています。

「autodiffusion」は現代の学術用語として、ギリシャ語由来の「auto-」とラテン語/フランス語由来の名詞「diffusion」を組み合わせて生まれました。'diffusion'はラテン語『diffundere』から古フランス語を経て英語に入った語です。

要素自体は当初『自ら広がる・注ぐ』のような意味を持ち、時間とともに材料科学での『自己拡散（同一種の粒子の拡散）』というより限定的な意味に定着しました。