「autocollimator」はギリシャ語とラテン語の語根に由来します。接頭辞の「auto-」はギリシャ語の「autos」から来て「自己」を意味し、「collimator」はラテン語・フランス語由来で「（光を）平行にする／直線に導く」を意味する語に由来し、接尾辞「-or」は器具を示します。

「autocollimator」は20世紀の精密光学の発展に伴い、接頭辞「auto-」とフランス語の「collimateur」などに由来する「collimator」を組み合わせて作られた現代英語の技術語で、自己参照的にコリメーション（位置合わせ）を行う器具を指す語として成立しました。

当初は光束を平行にする／コリメートする器具の名称として作られましたが、次第に鏡などの反射を利用して非常に小さな角度のズレを測定する器具を特に指す語として使われるようになりました。