「antitheistic」は現代英語で、接頭辞「anti-」（ギリシャ語のanti-、「反対」の意）と「theistic」（「theism」から派生、最終的にはギリシャ語のtheos「神」の意）を組み合わせて作られた形です。

「antitheistic」は「anti-」と「theistic」を結合して英語で形作られました。「theism」は17–18世紀に造られ、ギリシャ語のtheosを経てニューラテン語・近代英語に入った語であり、「anti-」は中英語以来英語で生産的に使われてきました。

当初から「有神論に反対する／神の存在を否定する」という意味であり、現代に至るまでその核心的意味はほぼ変わっていません。